1042學期 課程基本資料/Course Information
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系所 / 年級 |
資工系(資電組) 2年級 |
課號 / 班別 |
EE310196 / A |
學分數 |
3學分 |
選 / 必修 |
選修 |
科目中文名稱 |
半導體製程技術 |
科目英文名稱 |
Semiconductor Procreation Technology |
主要授課老師 |
楊紹明 |
開課期間 |
一學年之下學期 |
人數上限 |
40 人 |
已選人數 |
20 人 |
課程種類 |
一般課 |
課程類別 |
系定 |
學程 |
專業學程(半導體資訊學程) |
全英授課 |
否 |
起始週 / 結束週 / 上課地點 / 上課時間
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第1週 / 第18週 / I627 / 星期3第2節
第1週 / 第18週 / I627 / 星期3第3節
第1週 / 第18週 / I627 / 星期3第4節
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教學綱要/syllabus |
第一部分/Part I(※依課程委員會審議之內容決議填入) |
一、教學目標所要達成之能力培養項目: [依據課程委員會審議通過之課程與基本素養/核心能力關聯表填寫] |
Item |
基本素養/核心能力 Core Literacy/Core Competencies |
相關性 Relevance |
高度相關 |
中度相關 |
1 |
具備電腦基礎理論與實作技能 |
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2 |
具備邏輯分析與程式設計能力 |
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3 |
擁有使用資訊技術來分析解決相關問題之能力 |
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4 |
具備至少一項專業學程之知識及技術能力 |
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5 |
具備團隊協調合作之能力 |
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6 |
具備人文通識與專業倫理認知之能力 |
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7 |
具備學習資訊工程相關新知和因應領域發展趨勢之能力 |
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SDGs Item |
SDGs目標 SDGs goal |
SDGs描述 SDGs description |
無相關項目 No related items |
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二、教學目標 (Objective) |
1.認知面:[使學生理解、應用、分析、綜合、比較、推論、評估本課程之理論與概念]:
主要讓學生們了解半導體產業對於積體電路的製程流程有ㄧ定程度的了解,以互補式場效電晶體來說明,積體電路中主要的製程步驟:清洗,蝕刻,微影,沉積等.進而也可了解薄膜電晶體及太陽能元件的製作流程等.
2.技能面[使學生能獲得運用與實做本課程理論與概念之技巧]:
讓學生們藉由電腦輔助模擬軟體(TCAD)之模擬技術,輔助學習半導體製程技術之相關知識,可以藉此做為理論與實務之相關性結合,如同在半導體工廠實作般之虛擬工廠實習操作等.
3.情意面[能引發學生對本課程之興趣,激發學生學習動機,增加觸類旁通與自主學習]:
目前資訊技術爆炸的時代,學生們都喜歡透過電腦網路來學習知識,此創意課程之教學,乃透過電腦輔助模擬軟體(TCAD)之模擬技術經由電腦來學習半導體,藉此提高學生學習動機與增進觸類旁通與自主學習等技能.
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三、符合教學目標之課程內容設計 |
1.半導體簡介
2.晶片成長與清洗技術
3.真空系統與熱製程
4.薄膜,微影,蝕刻技術
5.金屬化與平坦化製程
6.CMOSFET製程演進
7.封裝與可靠度
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四、先修科目 (Pre Course) |
無
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第二部分/Part II |
一、多元教學方法 (Teaching Method) |
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二、多元教學方法與教育目標的連結 |
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三、參考書目 (Reference) [符合教學目標之參考書目] |
中文參考書目 |
1.半導體製程概論--施敏.梅凱瑞 原著 林鴻志 譯著 2.半導體製程技術導論--蕭宏 原著 陳啟文.許重傑.蔡有仁.溫榮宏.楊銀堂.段寶興 譯著 |
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四、教學進度 (Syllabi) [符合教學目標之教學進度] |
教學進度與何種基本素養/核心能力有關?
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五、多元評量方法 (Evaluation) [所勾選評量方法之評分加總為100分] |
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六、多元評量方法與教育目標的連結 |
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七、講義位址(http://) |
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